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2018-10-16 21:21 来源:中国涪陵网

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Uα系列

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产品名称:UaM-1L

所属大类: 半导体用高纯洁净减压器

所属小类:Uα系列

UαM-1L气体减压器专为超高纯度气体,半导体用(毒,腐)气体设计,满足超大规模集成电路的工艺气体要求。产品依据严格的标准设计,洗净,生产,测试。标准流量10NL/min。

 

工作条件:

 

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产品特点:

 

1.结构紧凑、轻便,适用于VMB & VMP
2.1/4焊接接头形式或一体式接头(公)形式可选

3.膜片、阀针结构:连接/分离可选
4.阀体材质S U S 3 1 6 L / S U S 3 1 6 L ( V I M + V A R ) 可选
5.膜片材质S U S 3 1 6 L / Hastelloy® C-22可选

6.内表面电解抛光处理Ra≤0.08μm(选项),标准品粗糙度Ra≤0.25μm
7.对于CL2、N2O和NH3请选择推荐配置
8.每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
9.减压器为10级洁净棚组装

 

剖面图:

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曲线图:

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安装图:

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进出气接头端面距(1/4)Face-to-Face distance

    形式         一体式外螺纹          焊接式    
    尺寸          73mm      104mm

*压力表接头标配1/4VCR®M;

*其他规格和形式的进出气接头可以从选型表中选择。

 

主要部件材料:

 

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订购型号:

 

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